爪式真空泵概述及结构原理

爪真空泵是可变容积真空泵。考虑到使用寿命内的压缩比，速度和动态平衡，该结构大多采用串联的多级爪形转子，或者采用罗茨转子和多级爪形转子。转子串联连接以形成多级爪真空泵。多级爪式真空泵的泵送过程示意图如图3-82所示。该爪泵在轴向上具有较少的逆流，因此在高压区域中压缩比较高。另外，由于泵的吸排气口设置在泵腔的端壁上，因此多级连接非常方便且空气通道通畅，因此泵腔内的压力变化平稳，这是有益的防止可凝性气体凝结。爪式真空泵的当前极限压力为1Pamdash，10Pa，抽速为100m ^ 3 / hmdash，180m ^ 3 / h。爪真空泵的工作原理如图3-83所示。具体的抽油过程分为四个步骤：行程：如图3-83（a）所示，转子对处于初始位置，S腔的容积z *小，并与吸油口相连。 S腔的端口不断增加，泵送的气体进入S腔，较大的T腔处于收缩状态。第二次行程：随着转子对的连续运动，如图3-83（b）所示。 S腔不断增加，并且越来越多的气体被吸入。 D腔不断缩小。仅将其连接到排气口时，便开始排气。第三冲程：如图3-83（c）所示，转子对继续移动，小腔体变为z *小，气体达到z *最大压缩，S腔体变为z *大，即将吸气和排气。结束。第四冲程：如图3-83所示（S腔和T腔一体化），泵腔不再吸，排气，进，出口自动关闭。这是爪式真空泵的工作。处理。